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解決方案與產品應用
壓阻式傳感器半導體應變計
更新時間：2014-08-29 15:18:19
下載資料應用介紹
2. 2.1 半導體應變計
半導體應變片的工作原理是基于半導體晶體材料的電阻率隨作用應力而變化的所
謂“壓阻效應”。所有材料在某種程度上都呈現(xiàn)壓阻效應,但半導體材料的這種效應特
別顯著，能直接反映出微小的應變。半導體壓阻效應可解釋為:由應變引起能帶變形,從
而使能帶中的載流子遷移率及濃度也相應地發(fā)生相對變化。因此導致電阻率變化，進而
引起電阻變化。
半導體應變計應用較普遍的有體型、薄膜型、擴散型、外延型等。
體型半導體應變計是將晶片按一定取向切片、研磨、再切割成細條,粘貼于基片上制
作而成。幾種體型半導體應變計示意圖如圖2 - 33所示。
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